超表面晶圆级光学芯片关键技术研发及产业化项目(EPC)(天津泰达山河科技有限公司) 大型

在新购置土地上建设超表面晶圆级光学芯片关键技术研发及产业化项目并分两期建设,其中一期占地面积约为----,建筑面积约为----,厂区建设包含制造厂房、中央动力厂房等,新建一条超表面晶圆级光学芯片12寸量产线,主要包含深紫外光刻机、紫外光刻机、干法刻蚀机、物理及化学气相沉积等设备,主要生产工艺为以12寸玻璃晶圆生产原料,通过薄膜沉积、光刻、刻蚀、平坦化等工艺生产流程,制作12寸超表面玻璃晶圆产品,该产品集成电子束光电器件、光无源器件等技术,项目规划产能约72000晶圆片/年.项目二期占地面积为----,建筑面积为----,新建一栋甲类库,用于存放双氧水、氢氧化铵、盐酸等物品使用.2.此项目资金:1.4亿元

土建建筑材料：混凝土、商品混凝土、石材、水泥、加气砖、加气块、砌块、砖瓦、砂石、石灰、膨胀剂、混凝土外加剂、外加剂、活动板房、活动房、建筑模板、脚手架、灌浆料、砂浆、保温砂浆、防火门、砖、灌注桩、建筑模版、木材、螺旋钢管。 施工机械及器具：工程机械、起重机、起重设备、起重机械、挖机、挖掘机、高空作业车、高空作业平台、塔吊、吊车、装载机、铲运机、混凝土泵车、平地机、推土机、搅拌机、塔式起重机、升降机。 线路敷设：电线电缆、电缆桥架、桥架、母线槽、密集母线槽、母线、电力电缆、线缆、铝合金电缆、矿物绝缘电缆、合金电缆、弱电线缆、电线、接线盒、电缆套管及其管件、光纤光缆。